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Y5T188 激光器減薄,與臺階儀厚度檢測原理

Y5T188 激光器減薄,與臺階儀厚度檢測原理

邊發射激光器的制造,是先在襯底上一層層的成長資料,長出有源層,長出P型半導體,長觸摸層。

成長好資料

之后去刻蝕結構,刻好波導槽,再然后鍍膜金屬層做正電極,再再然后翻面鍍膜負電極。

襯底,要一次次做工藝,不能太薄,要不就很簡單裂。

可做完之后,假如直接鍍膜負電極,那么,激光器這個PN結的電流通道就會很長。激光器的等效電阻會很大

假如襯底很薄,激光器的等效電阻很低

厚的襯底,才不簡單裂開,便利進行后續的成長、刻蝕、鍍膜等等。

薄的襯底,有很好的功能,PN結內阻更小,散熱通道更短。

所以,一般的做法是,用厚襯底來做工藝流程,做完之后再對襯底進行減薄。取得更好的功能和散熱

襯底減薄,一般用機械方法,便是金剛石砂輪打磨,一點點的磨薄。

薄膜之后,再用更小的顆粒去拋光。讓厚度更均勻?傻,在微米量級,其實仍是會有高凹凸低的凸凹現象。

厚度檢測也很重要,看減薄做的行不行。厚度檢測里常用的一款設備叫“臺階儀”,介紹一種電感式臺階儀的原理。

臺階儀與待檢測面的高度固定,也便是下圖三個線圈與臺面的高度不變,中間觸針,和觸針頂端的鐵芯,是能夠凹凸彈動的

便是個變壓器原理,左邊溝通電,電磁改換會讓右邊感應出溝通電壓。

觸針劃過襯底,襯底的凹凸改變,會導致右側的兩組線圈所感應電壓不同。

一般測驗△U的改變,就能知道被測物的厚度描摹。


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